歐姆龍E52-CA_C-N選型資料選型手冊

晶圓片托架的落座檢測。
通過(guò)與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹(shù)脂。
獨有的光學(xué)系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環(huán)保導線(xiàn)（無(wú)滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動(dòng)作模式：有晶圓片托架時(shí)ON。
導線(xiàn)長(cháng)：2mE52-CA_C-N尺寸：48×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類(lèi)：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC/DC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電流輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數：3點(diǎn)。
加熱器用斷線(xiàn)、SSR故障、加熱器過(guò)電流檢測功能/ES1B用電源：--。
事件輸入點(diǎn)數：--。
傳送輸出：可傳送輸出（使用控制輸出）。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm見(jiàn)方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進(jìn)一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數計數功能，可預防維護溫控器內部繼電器。
增加了3段顯示，可同時(shí)顯示易于理解的當前值/目標值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP等，可實(shí)現一鍵操作。E3Z-T86檢測方式:對射型。
連接方式:接插件式 （M8） 。
檢測距離:15m。
輸出方式：PNP輸出。
實(shí)現小型、長(cháng)距離、節省電力和
節省能源的光電傳感器的標準型
穩定檢測的高功能光纖傳感器。
也備有適用于EtherCAT通信單元/CompoNet通信單元的E3X-DA0-S型號。
導線(xiàn)引出/省配線(xiàn)接插件型。
分類(lèi)：高速響應型。
連接方式：導線(xiàn)引出（2m）。
控制輸出：NPN輸出。
適用省配線(xiàn)接插件種類(lèi)：-。
適用省配線(xiàn)接插輸出方式：-。尺寸：96×96mm。
種類(lèi)：電源AC100～240V用。
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：輸出單元方式。
控制輸出2：輸出單元方式。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數：2點(diǎn)。
加熱器用斷線(xiàn)、SSR故障檢測功能：?jiǎn)蜗嗷蛉嗉訜崞饔脵z測功能。
事件輸入點(diǎn)數：4點(diǎn)。
傳送輸出：--。
遠程SP：4～20mA輸入。
通信：--。
通用溫控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度輸入）型產(chǎn)品。
支持簡(jiǎn)易運算、預防維護。
采用可通過(guò)紅外線(xiàn)端口從前面進(jìn)行通信的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
高分辨率5位顯示/可顯示0.01°C。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺機器支持多種傳感器。
還支持遠程SP。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方方便查看溫控器的狀態(tài)（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報警發(fā)生），
可交互顯示PV/SV。
通過(guò)支持軟軟件（CX-Thermo Ver.4.0）進(jìn)行簡(jiǎn)易運算功能（AND/OR邏輯和延時(shí)）設定，
能夠執行柔性的接點(diǎn)輸出。
增加控制輸出ON/OFF次數計數功能，可預測溫控器內部繼電器的故障。
備有位置比例型。