數字控制器E5AN-R3HBT-W-N指導手冊歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊

晶圓片托架的落座檢測。
通過(guò)與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹(shù)脂。
獨有的光學(xué)系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式E5AN-R3HBT-W-N指導手冊。
使用環(huán)保導線(xiàn)（無(wú)滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動(dòng)作模式：有晶圓片托架時(shí)ONE5AN-R3HBT-W-N
導線(xiàn)長(cháng)：2m。放大器分離接近傳感器可簡(jiǎn)單設定高精度的靈敏度。
可根據用途選擇傳感器探頭種類(lèi)，傳感器前置放大器-放大 器之間采用耐彎曲電纜。
不易受環(huán)境溫度影響，溫度特性為0.08%/°C （φ5.4型）E5AN-R3HBT-W-N指導手冊。
可簡(jiǎn)單、確實(shí)檢測設定微米級精度（示教功能）。
可確認檢測余量（數字顯示）。
高精度的定位、支持甄別檢查、變化量最大化“FP （Fine Positioning）功能”。
也備有適用于EtherCAT傳感器通信單元/CompoNet通信單元的E2C-EDA0型號。種類(lèi)：可插拔式。
尺寸：48×96mmE5AN-R3HBT-W-N指導手冊。
控制輸出1：繼電器輸出。
控制輸出2：繼電器輸出。
輔助輸出：2點(diǎn)。
通信：--。
加熱器斷線(xiàn)：1點(diǎn)。
事件輸入：2點(diǎn)。
電源電壓：AC100～240V。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選型、設定及操作更為簡(jiǎn)捷多組輸入/輸出，
功能齊全性能更強、功能更完善應用更范圍更為廣泛歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
E5EC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為25mm改進(jìn)了可視性。
主體短小，厚度僅為60mm。
50ms高速采樣周期。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門(mén)。尺寸：48×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
種類(lèi)：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數：3點(diǎn)。
加熱器用斷線(xiàn)、SSR故障、加熱器過(guò)電流檢測功能/ES1B用電源：?jiǎn)蜗嗉訜崞饔脵z測功能歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
事件輸入點(diǎn)數：--。
傳送輸出：--。
通信：RS-485。
96mm、48×96mm見(jiàn)方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進(jìn)一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)

（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SSVE5AN-R3HBT-W-N指導手冊E5AN-R3HBT-W-N。
增加控制輸出ON/OFF次數計數功能，可預防維護溫控器內部繼電器。
增加了3段顯示，可同時(shí)顯示易于理解的當前值/目標值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP等，可實(shí)現一鍵操作。