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Z5PM系列 實(shí)現了、小型化、低價(jià)格 歐姆龍Z5PM系列 等離子監視器

品牌: 歐姆龍
產(chǎn)品名稱(chēng): 等離子監視器
型號: Z5PM系列
監測2波長(cháng)的等離子發(fā)光量。
實(shí)現了、小型化、低價(jià)格。
輕松實(shí)現蝕刻和清潔的端點(diǎn)的監測。
輕公地進(jìn)行蝕刻、清潔的等離子發(fā)光的監測。
通過(guò)用過(guò)濾方式檢測2波長(cháng),實(shí)現小型化、低價(jià)格。

E3F3-R87M檢測方式:回歸反射型,
導線(xiàn)引出式:M12 CN,
類(lèi)型:金屬外表;PNP輸出,
螺紋柱狀光電傳感器,放大器內置,
具備接近傳感器外觀(guān)的光電傳感器
具有光電-IC技術(shù)的高抗干擾性種類(lèi):交流2線(xiàn)式,屏蔽型歐姆龍Z5PM系列。
形狀:M18。
檢測距離:5mm。
連接方式:M12 接插件型Z5PM系列
導線(xiàn)規格:-。
動(dòng)作模式NC。
接近傳感器的頂級的性能和品質(zhì)。
磁性金屬有無(wú)檢測的標準型。
品種豐富。
可根據條件選擇適用機型。
防相互干擾功能的異頻機型品種齊全。
具有優(yōu)異的耐環(huán)境性能。
標準導線(xiàn)的材質(zhì)為耐油PVC歐姆龍Z5PM系列。
檢測面采用耐切削油材質(zhì)。
標準采用導線(xiàn)護套。惡劣環(huán)境下也不易損壞的接近傳感器。
全不銹鋼機架。
耐鋁碎屑。
可嵌入安裝至金屬(鐵)中。
由歐洲Ecolab公司認證的耐化學(xué)藥品性。
備有導線(xiàn)引出型、直流3線(xiàn)NPN輸出、氟樹(shù)脂涂層型。E3Z-D61檢測方式:擴散反射型。
連接方式:導線(xiàn)引出式(2m)3、4歐姆龍Z5PM系列。
檢測距離:5m -100mm (廣視野)。
輸出方式:NPN輸出。
實(shí)現小型、長(cháng)距離、節省電力和
節省能源的光電傳感器的標準型
E3ZM-LS89H檢測形式:BGS反射型,
連接方式:連接器型(M8·4極) 4,
輸出方式:PNP輸出,
不銹鋼外殼E3F3-D31 檢測方式:擴散反射型,
導線(xiàn)引出式:導線(xiàn)引出式,
類(lèi)型:塑料外表;PNP輸出,
螺紋柱狀光電傳感器,放大器內置,
具備接近傳感器外觀(guān)的光電傳感器
具有光電-IC技術(shù)的高抗干擾性該放大器分離式接近傳感器可輕松調整靈敏度以檢測非磁性金屬歐姆龍等離子監視器。
檢測非磁性金屬(鋁、銅等)。
還備有小型扁平型傳感頭(E2CY-V3A)、耐藥品用氟樹(shù)脂型 (E2CY-C2AF)歐姆龍等離子監視器。
可以輕松調整靈敏度(單觸示教)。
數值化的檢測狀態(tài)一目了然(數字顯示)。
名稱(chēng):傳感器。
形狀:屏蔽,φ5.4。
穩定檢測距離:1.5mm歐姆龍等離子監視器。晶圓片托架的落座檢測。
通過(guò)與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹(shù)脂。
獨有的光學(xué)系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環(huán)保導線(xiàn)(無(wú)滑石粉)。實(shí)現小型、長(cháng)距離、節省電力和節省能源的光電傳感器的標準型
檢測距離/對對射型15m、回歸反射型4m、擴散反射型1mZ5PM系列。
獨特的防止外部亂光計算方法,變頻熒熒光燈下也能工作歐姆龍Z5PM系列。
1、大限度降低電力消耗和含鉛材質(zhì)的使用。
2、IP67保護構造,防止相互干擾功能, EN規格標準。防油型為IP67f。
3、光軸與機械軸的偏差控制在正負2.5°以?xún)?,光軸對合更容易。


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